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半导体

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新兴电子元件的半导体解决方案

对于与半导体加工相关的挑战,海洋洞察力为集成商提供了实时光学传感解决方案,为端点检测,等离子蚀刻和剥离/清洁提供了188体育直播app对芯片和电子产品制造商提供设备和服务的集成商。

解决方案

我们提供光学发射光谱仪进行实时监控和控制半导体过程:

  • 室灭菌
  • 蚀刻
  • 沉着
  • 光端点检测
  • 等离子灰化/清洁

半导体过程监控光学传感的优点

  • 实时测量
  • 端点检测的灵活设置和更多
  • 在过程环境中可靠性性能的高稳定性
带微芯片的硅晶圆

鼓舞人心的信心与经验和专业知识

  • 我们有几十年制造经验188金宝搏可信吗支持我们的半导体和工业伙伴。
  • 合伙从原型到生产。我们设计,优化,规模和供应。
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提供世界一流的专业知识,专用的设施和先进的算法,以便为项目目标提供突破性的势头。

基于光谱的传感器不仅可以在半导体沉积和蚀刻工艺中使用,而且可以用于腔室灭菌。这些工具有助于优化晶片产量和质量。

Benedict Delahunty,高级蚀刻设备工程师- GlobalFoundries.

其他案例研究

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188体育直播appOcean Insight与等离子蚀刻技术的领先创新者合作,探索全谱等离子监测解决方案,适用于检测关键晶圆蚀刻端点

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