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精炼半导体制造,简化工艺效率,提高产品质量

  • 半导体
  • 吸光度
电脑电子工程师

188体育直播app海洋洞察与GlobalFoundries,一个半导体解决方案供应商合作,改善了支持新兴电子技术等工艺,如5G和物联网188金宝搏可信吗

挑战

半导体器件制造是一种复杂的过程,需要在制造的各个方面进行精确度。保持质量和最小化晶片损失需要无污染的气体和精确的气体混合物,对腔室的等离子体清洁的终点检测,并且精确定时沉积和蚀刻终点检测。

监测半导体腔室清洁的传统方法,沉积和蚀刻工艺导致晶片产率和室劣化。现在,制造商可以利用光学发射光谱(OES)和机器学习,以精确,高速监测过程,导致更高质量的半导体材料,用于要求电子和纳米技术的新用途。

硅晶圆和微电路

洞察力

在半导体处理中,试验和误差方法一旦指示腔室清洁,沉积速率和蚀刻时间,不精确的方法导致晶片产量下降,室劣化和浪费的资源。

即使具有技术进步,包括使用单色器来监视光学端点过程,仍然存在限制。例如,单色器限于单波长分析,可以受到光学干扰的影响,并且不容易切换出不同的生产配方。

使用来自海洋Insight的高速,精密光谱仪引入光学端点感测测量的测量有助于结束旧技术的局限性。188体育直播app使用OES,用户可以快速准确地监控所有等离子体波长,消除猜测。将我们的机器学习算法应用于测量数据将添加另一级洞察过程控制。

基于光谱的传感器不仅可以在半导体沉积和蚀刻工艺中使用,而且可以用于腔室灭菌。这些工具有助于优化晶片产量和质量。

Benedict Delahunty,高级蚀刻设备工程师- GlobalFoundries.

解决方案

GlobalFoundries(GF)为全球领先的半导体创新者提供设计,开发和制造服务。188体育直播app海洋洞察力与GF密切合作,以解决先前使用的重要反应离子蚀刻工艺相关的问题。管理该“定时蚀刻”过程,用于确定晶片暴露于腐蚀性生产气体的长度,依赖于单波长仪器的组合,涉及所涉及的化学反应的变速和简单的试验和简单的试验错误。这通常导致产品的过度和蚀刻措施,浪费了昂贵的资源。

通过我们的帮助,GF现在正在安装在系统中的海洋洞察光谱测定仪并重写它们的算法以监测多188体育直播app个等离子体发射光谱,以精确地停止蚀刻。潜在的影响很大。例如,单个工程师可能负责100多个腔室,蚀刻运行需要5-25分钟。此过程的甚至小的改进都可以简化生产并急剧提高产品质量。

其他案例研究

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